Вакуумные насосы:
- Обзор современных турбомолекулярных насосов. Тенденции развития
- Цель работы
- Принцип действия турбомолекулярных насосов
- Установка ротора
- Крепление ротора
- Защита деталей современных турбомолекулярных насосов от коррозийного разрушения и действия агрессивных газов
- Применение турбомолекулярных насосов в современных производственных процессах
- Гибридные молекулярные насосы
- Тенденции развития турбомолекулярных вакуумных насосов
- Контроллеры
- Обзор номенклатурного ряда некоторых производителей
- Adixen
- Shimadzu
- Выводы
- Список использованной литературы