Компрессоры, Вакуумные насосы, Рутс, ЖКВН, Теория, расчет и конструирование.

Вакуумное нанесение тонких пленок.

Под общей редакцией Р.А.Нилендера.
(М.: Энергия, 1967)

Аннотация издательства: В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.